金属材料在半导体器件中的‘隐秘’角色
在半导体材料的世界里,我们常常将目光聚焦于硅、锗等非金属元素,却往往忽视了金属材料在其中的“隐秘”作用,金属材料不仅是半导体器件的支撑结构,更是实现功能的关键。以铜为例,作为最常用的互连金属材料,它不仅具有良好的导电性,还具备高熔点和抗腐蚀...
在半导体材料的世界里,我们常常将目光聚焦于硅、锗等非金属元素,却往往忽视了金属材料在其中的“隐秘”作用,金属材料不仅是半导体器件的支撑结构,更是实现功能的关键。以铜为例,作为最常用的互连金属材料,它不仅具有良好的导电性,还具备高熔点和抗腐蚀...
在半导体材料的广阔领域中,金属材料扮演着不可或缺但又复杂多面的角色,它们既是连接半导体器件各部分的桥梁,也是影响器件性能的关键因素,一个不可忽视的现象是,金属材料在半导体制造中展现出“双刃剑”的特性。金属材料如钨、铝和铜等,作为导线、栅极和...