滑行道上的半导体材料，如何优化其性能与耐用性？
在半导体制造的精密工艺中，滑行道作为晶圆传输的关键路径，其性能与耐用性直接影响着生产效率和产品质量，一个常被忽视却又至关重要的问题是：如何在保证滑行道顺畅运行的同时，提升其对抗污染、磨损及温度变化的能力？材料选择是关键，采用高纯度、低吸湿性...
在半导体制造的精密工艺中，滑行道作为晶圆传输的关键路径，其性能与耐用性直接影响着生产效率和产品质量，一个常被忽视却又至关重要的问题是：如何在保证滑行道顺畅运行的同时，提升其对抗污染、磨损及温度变化的能力？材料选择是关键，采用高纯度、低吸湿性...