环境影响评价在半导体材料生产中的挑战与机遇
在半导体材料生产的蓬勃发展中,环境影响评价(EIA)成为了一个不可忽视的议题,半导体制造过程中,如化学气相沉积、湿法清洗等环节,会释放出有害物质,如挥发性有机化合物(VOCs)、颗粒物以及重金属等,对环境和人类健康构成潜在威胁,如何有效进行...
在半导体材料生产的蓬勃发展中,环境影响评价(EIA)成为了一个不可忽视的议题,半导体制造过程中,如化学气相沉积、湿法清洗等环节,会释放出有害物质,如挥发性有机化合物(VOCs)、颗粒物以及重金属等,对环境和人类健康构成潜在威胁,如何有效进行...